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Keithley吉时利6517B 静电计/高阻表

&苍产蝉辫;主要特点:

• 电阻测量可达10¹⁸ Ω
• 电流测量范围10aA - 20mA
• 小电流量程输入端压降&濒迟;20&尘耻;痴
• 200TΩ 输入阻抗
• <3fA 偏置电流
• 测试速率高达425 rdgs/s
• 噪声0.75fA p-p
• 内置&辫濒耻蝉尘苍;1办痴电压源
• *的高电阻测量电压反接方法
• 可选的插件式扫描卡

出众的性能指标

半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低 电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅 0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于 接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入 阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确 度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试 和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。

测量范围宽

6517叠型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：
• 电流测量范围：10aA - 20mA
• 电压测量范围：1μV - 200V
• 电阻测量范围：1Ω - 10¹⁸Ω
• 电荷测量范围：1fC - 2μC

改进的高灵敏度测量

许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测 量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V /I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用 吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。

即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为 困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通 常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。 在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率 读数甚至错误的负值。吉时利6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题， 并为各种材料和元件提供一致、可重复和准确的测量，特别是与8009型电 阻测试夹具一起使用时。

变换极性法

6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电 流。并剔除背景电流的一级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性 电压，然后在延迟（测量时间）后测量电流。接着，改变电压极性， 使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个电 流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即 舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻（或电阻 率）测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚 的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA。

与数字多用表类似的简单操作

6517B型静电计/高阻表采用与数 字多用表类似的简易操作，可通过前 面板，利用单一按钮控制电阻测量等 重要功能。还可以通过内置IEEE-488 接口实施控制，因此，可利用计算机 控制器通过总线对所有功能进行编程。

Keithley吉时利6517B 静电计/高阻表高精度高阻测量

6517B型静电计/高阻表的诸多特 性和能力有助于确保高阻测量应用的 准确度。例如，其内置电压源简化了 绝缘器电阻率和所用电源电压电平之 间关系的确定。它还非常适合电容器 泄漏和绝缘电阻测量、印刷电路板表 面绝缘电阻测试、电阻器电压系数测 试以及二极管泄漏特性分析。

温度和湿度测试

湿度和温度可能严重影响材料的 电阻率值。为了帮助您准确比较在不 同情况下测得的读数，6517B型静电 计/高阻表提供内置K型热电偶和一个 可选的6517-RH型相对湿度探头。其 内置数据存储缓冲器允许记录和调用 具有时间、温度和相对湿度Stamping 的读数。

附件扩展测量能力

利用多种可选附件，可以扩展 6517B型静电计/高阻表的应用，并改 进其性能。

扫描卡。利用两张扫描卡，可以简化 多个信号的扫描。每张卡都可以轻松 插入仪器后面板的插槽。6521型扫描 卡提供10个低电平电流扫描通道。 6522型扫描卡提供10个高阻抗电压开 关或低电流开关通道。

测试夹具。8009型电阻率夹具是一款 受保护的测试夹具，用于样本材料的 体电阻率和表明电阻率测量。它包括 按ASTM标准构建的不锈钢电极。该 夹具的电极尺寸已在6517B型静电计 /高阻表预编程，因此无需计算其数 值，可以稍后手动输入。这个附件旨 在保护用户避免接触潜在的危险电压 ——自动开启夹具盖，关闭6517B型 静电计/高阻表电压源输出。

应用

6517B型静电计/高阻表非常适合物 理、光学、纳米技术和材料科学等研究 领域的低电流和高阻抗电压、电阻和电 荷测量。其极低的电压降非常适合太阳 能电池测量，其内置电压源和低电流灵 敏度使之成为基于聚合物的纳米线等高 阻测量的出众解决方案。其高速和易用 性使之成为质量控制、产物工程和生产 测试（包括漏流、击穿和电阻测试）应 用的*选择。利用6517B型静电计/高 阻表的电压反转方法，可以大幅改进对 绝缘材料的体电阻率和表面电阻率测量。 6517B型静电计/高阻表还非常适合电化 学应用，如离子选择性电极和pH测量、 电导电池和电势测定。

改进型6517叠静电计/高阻表

6517B型静电计/高阻表是一款升 级型号，用于取代1996年推出的6517A 型仪器。利用SCPI指令为6517A型仪器 建造的软件应用程序无需任何修改即可 用于6517B型静电计/高阻表。不过，同 早期的6517A设计相比，6517B型静电 计/高阻表进行了一些改进。其内部电 池供电的内存缓存可存储高达50,000个 读数，允许用户更长时间地记录测试结 果，并存储更多与读数有关的数据。该 新型仪器还为内部缓存提供更快的读取 速度(高达425读数/秒)，还可通过IEEE 总线存入外部存储器(速度高达400读数 /秒)。为了满足现代连接和安全需求， 6517B型还连接器进行了几处改动。